图一 水平式等离子清洗机原理示意图CCP典型放电条件：①压强10Pa-100Pa；②电极间距1cm-5cm；③高频功率20W-200W，迪高附着力促进树脂生成等离子体密度约为1016m-3量级CCP放电优势：能够较容易生成大口径等离子体，放电现象较为稳定。 4、处理效果稳定等离子清洗的处理效果非常均
