B.将样品放入舱内;关闭三通阀(向下箭头);D.将清洗机的门靠近真空室;打开真空泵的电源开关，连接器等离子体刻蚀设备等待几分钟排出舱内的空气，然后关闭清洗机门。B、抽吸ona，打开三通阀与室内空气连接，(杠杆指向针阀);B、轻轻打开针阀，让空气进入清洗机舱内。(针阀先关闭)等离子formationA
