匹配设备故障的主要原因是： 1 空气电容损坏原因：空气电容在运行过程中与导电杂质碰撞，进口等离子表面处理仪厂家造成局部短路。转子轴损坏，无法正确调整。 2进口三极管故障原因：与空气电容动轴损坏有关，空气电容不能正常工作，射频输出阻抗不能调节，三极管失效。使用过程中，初始匹配器值没有调整好，匹配时间过
