plasma所需的等离子体技术主要是在真空、放电等特殊场合产生的。低电压气体辉光法是一种依靠等离子体的有效成分进行反应。它的主要过程包括：先将需要清洁的工件送到真空系统固定，进口特殊附着力树脂厂家真空泵等设备逐渐将真空排出约10Pa的真空度；然后将等离子清洗气体导入真空系统(根据清洗材料的不同，可选
