他在两家主要蚀刻设备制造商的独特和成功经验，隧道路面附着力小吗使他能够升级对应于不同技术节点的蚀刻机。2004年，他辞去应用材料副总裁一职，回到中国目前，中微半导体设备有限公司研发的等离子清洗机CCP蚀刻机，采用超高频和低频混合射频解耦的无功等离子源，独特的多反应腔双反应平台系统，在蚀刻28nm逻辑
