同一批(批)的25片晶圆,达因值32a是什么意思由于位置、顺序等细微差别,良品率会有所不同,但一般不会有大的差别。良品率也会随着生产线上机器参数随时间的漂移而波动,有时较大的偏差或异常会导致良品率骤降。长期稳定在高位的良品率是一条生产线成熟的标志。根据失效特征,工艺引起的器件失效可分为参数性失效和功