传统方法不能完全去除键合区的污染物，达因值标准怎么定而等离子体法可以有效去除污染物，使污染物活化在键合区表面，明显提高导线的键合张力，有效提高集成电路设备的可靠性。等离子体发生器技术是一种材料强化改性技术。与处理过的表面接触后，发生化学反应和物理变化，以清洁表面。等离子体工艺的目的是最大限度地提高线
