中国人在低温等离子体清洗机等离子刻蚀机研制中的贡献；&ldquo；龙的传人&rdquo；在低温等离子体清洗机中，70达因值对应多少接触角等离子体刻蚀机在过去近半个世纪的发展中起到了重要的作用。1999年出版的《硅谷英雄》提到了两位与低温等离子刻蚀设备研制密切相关的中国人。一位是林大卫博士，出生于中国
