考虑到环境影响、原材料消耗和未来发展，等离子体物理基础及应用干洗显然（显着）优于湿洗。其中，等离子清洗发展最快，优势明显（显而易见）。等离子体是指一种电离气体，它是电子、离子、原子、分子和自由基等粒子的聚集体。在清洗过程中，高能电子与反应性气体分子碰撞使其解离或电离，利用产生的各种粒子冲击被清洗表面
