2)等离子体刻蚀机工序有着下述优势1.环保技术:等离子体蚀刻机的功能环节是气-固相关应，辽宁低温等离子处理机操作不消耗水资源，不添加化学物质，对环境无污染，可替代钠蔡溶液化学处理工艺；2.低温:接近常温，特别适合聚合物材料，仅涉及聚合物材料的浅表层(十-一千A)，对材料的毁灭性低于工业化学；3.低成
