等离子体清洗是利用被清洗表面的离子、电子、激发态原子、自由基及其与污染物分子的活化反应来去除污染物的过程。电子在清洁金属表面中的作用:等离子体中的电子与原子或分子碰撞，载玻片清洗仪形成被激发的中性原子或自由基(也称为自由基)，这些中性原子或自由基可以与污染物分子发生反应，清除金属表面的污染物。如果您
