*触摸屏控制和图形用户界面，软板plasma蚀刻机器提供实时过程显示;*灵活支持，具有适应各种设备的能力，* 13.57MHz射频发生器带自动匹配网络，确保设备良好的过程一致性;*设备满足简单的周期校准需求。。1. 铅键合:铅键合的质量对微电子器件的可靠性有决定性的影响。粘接区必须无污染物，并具有良
