用于真空系统的大腔等离子清洗机。它的特点是低温等离子体能量高，路面附着力 摩擦力但低温等离子体密度相对较小，所以不需要配对，生产成本低。通常5到20千瓦。射频电源:工作频率13.56mhz，输出功率从0到600w可调，全智能真空系统电容适配器。此外，还可配中频电源，工作频率为40KHz，输出功率在0
