，电极材料亲水性然后进行气体等离子点火；气体选自O、Ar、N-气体冲洗工艺的技术参数设置如下：腔室压力10-40mitol，工艺气体流量-500sccm，时间1-5s；工艺技术参数设置如下：腔室压力1040mitol，工艺气体流量-500sccm，顶部电极输出250-400W，时间1-10s； 2、
