(1)原子团等氧自由基与物体表面的反应:氧自由基是电中性的，超强附着力增粘树脂主要表现在化学反应过程中能量传递的激活作用上。其物理化学反应机理是活性粒子与被清洗表面碰撞，超强附着力增粘树脂污染物从表面分离出来，由真空泵吸出。化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成它们。挥发物，然后是挥发物，被真空
