对钝化层蚀刻，贵州真空等离子清洗机的真空泵组哪里有卖过蚀刻时间却对PID的影响不显著，可能因为其接收天线是铜，而金属层蚀刻时是钨，敏感性不同，同时距离前段器件距离太远。在第二钝化层蚀刻中，同样对过蚀刻时间不敏感，但使用磁场会带来严重的PID问题，相比于没有磁场的工艺，使用磁场能改善蚀刻均匀性，但其带
