Jin等研究了各种退火工艺对NBTI的影响，贵州低温真空等离子表面处理机找哪家发现等离子设备纯H2退火比N2/H2混合气休对改善 NBTI帮助更大，其解释为纯H2有更高的H2含量，其到达Si-SiO2界面的H更多，对悬挂键的钝化作用更明显。而退火时间有明显的饱和效应，当退火时间大于0.5h 后，延长
