这些是低温等离子体处理设备中常用的气体及其用途。等离子体化学是一种绿色化学特性，表面改性的应用研究它使材料能够将电能合并到气相化学反应中。具有节水、节能、无污染、能利用资源、有利于环境保护等特点。利用等离子体活性物种（电子、离子、自由基和紫外线）的高活性，可以实现一系列新的反应过程，这是传统化学和水
