这些气体在等离子体中发生反应，表面粗糙度和附着力的区别形成高度活性的自由基，其方程为:这些自由基将进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生化学反应。压力越高，越有利于自由基的生成。因此，如果要优先进行化学反应，就必须控制较高的反应压力。更重要的是，表面粗糙度和附
