(2)物理reactionMainly等离子体中的离子作为纯粹的物理碰撞,材料表面的原子或附加表面的材料,因为平均压力较低的离子自由基更轻,很多的积累能量,当物理影响,离子能量较高,所以如果要以物理反应为主，等离子刻蚀进行表面改性就要控制好反应的压力，这样清洗效果更好，才能进一步说明清洗各种设备的效
