借助Plasmattechnology等离子清洁剂，表面改性的意义是什么即使是敏感表面上的有害物质也能被彻底清除。这为后续的涂覆工艺提供了先决条件。蚀刻机的不断升级，表面改性有哪些重要应用不断发展控制更理想图案的能力，不断增强对单一或连续图案地形变化的控制能力，图案形状之间的转换，变得更加连续自然。
