因此，纳米粒子表面改性研究进展氩等离子清洗机广泛应用于半导体材料、微电子技术、晶圆制造等制造行业。真空等离子清洁器中的氩离子发出的光是深红色。在相同的充放电自然环境下，氢气和氮气产生的等离子体呈鲜红色，但氩气的色度低于氮气，高于氢气。去除晶圆、夹层玻璃等产品表面颗粒粉尘的整个过程，通常是在超声波或离
