特别是切断电源后，pvd表面处理技术各种活性颗粒能迅速消失，只需几秒钟，不需要特别通风，不会对操作人员造成任何伤害，更加安全可靠，值得广泛推广。低温等离子体的电离率低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可以相当于室温。因此，低温等离子体是非热平衡等离子体。低温等离子体中存在大量活性粒子，它们比普通
