另外如果想要在材料表面引入官能团可以对材料表面用N2、NH3、O2等气体进行表面等离子处理，表面亲水性可以引入-NH2、-OH、-COOH等相应的官能团，特别是对高分子基板，这些官能团可显著提高基板的润湿性、可粘结性、反应性。目前最常见的等离子清洗是以氩气和氧气的混合气体清洗为主，对于大都数只需要提
