在电场提供的能量下，一种用于薄膜表面处理的电晕机气体会从气态变成电晕态（也称为&ldquo；第四态&rdquo；）。它含有大量的电子、离子、光子和各种自由基等活性粒子。电晕气体是一种部分电离的气体。与普通气体相比，其主要性质发生了实质性变化是一种新化学物质的会聚状态。另一种是电晕表面处理器中充满氩气
