处于同一高能态的材料与粒子（冷等离子体中的高能粒子，薄膜等离子体蚀刻机器如自由基、电子等）的表面相互作用，通过腐蚀和沉积发生分解、交联等反应，产生极性基团、自由表面上的自由基和其他活性基团。等离子聚合是将材料暴露于聚合气体中以在其表面形成聚合物薄膜。与常用的化学聚合相比，低温等离子聚合薄膜需要形成材
