由于低压电晕是冷电晕，处理电晕机当压力在133～13.3Pa左右时，电子温度高达00on，而气体温度只有300on，不会烧坏衬底，有足够的能量进行表面处理。低压电晕发生器已广泛应用于电晕聚合、薄膜制备、蚀刻、清洗等表面处理工艺中。电晕发生器的成功例子有：在半导体制造过程中，采用氟利昂电晕干法刻蚀，通
