此外，芯片刻蚀技术四由于其特殊的结构，可以实现半整数量子霍尔效应、不可磨灭的导电性等。石墨烯由于其出色的二维传输特性和高导电性，可用作通道材料和后端互连。当然，不同的应用有不同的蚀刻工艺要求。芯片制造中的石墨烯这个应用程序有两个难题。一是连续生长大面积、高质量薄膜，二是图案化方法。第二个方面与蚀刻工
