在半导体集成电路制作中使用的硅片中，舒曼电晕处理机可自动高容量处理多片硅片，有效去除硅片上的氧化物或金属等污染物，提高半导体集成电路制作中集成电路的产量、可靠性和性能。电晕技术为半导体生产，特别是全自动化生产的趋势，开辟了新的潜力。电晕技术有限公司是自主研发生产的电晕。在半导体设备的生产过程中，舒曼
