2、物理反响首要是清洗，改进工艺提高膜层附着力其外表反响首要为物理反响的等离子体清洗，又称溅射腐蚀和离子铣IM。外表物理溅射是等离子体中的正离子在电场作用下获得能量以轰击外表，与外表分子片断和原子产生磕碰，使污染物质从外表除掉，而且能使外表在分子级范围内改动微观形状粗糙化，从而改进外表的粘结性。 氩
