二、气体管道检查 利用气体品质流量控制器来准确测量机器的气体品质流量控制器，肥皂亲水性并参考其（检）测值对设备的气体流量控制器进行校正。亦可参照同腔真空度检查，关闭总阀后检查显示O2、N2、CF4管路压力值，如发现数值有变化，用肥皂水喷洒在管路接口处观察，如有气泡，再更换接头恢复正常。清洗过滤器的步
