惰性气体等离子体的影响可以改变化合物的表面结构。等离子体中含有电子、离子和自由基等活性粒子。等离子体表面重整包括物理和化学重整。事物物理改性是电子和离子对聚合物表面的影响,对聚酯薄膜有附着力的树脂使聚合物链中的化学键断裂,引起分解反应,并将形成的分解产物沉积在聚合物表面。化学改性是通过自由基在聚合物