腔体侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、临界尺寸、侧面翘曲、等离子等离子输出受改变等离子特性的影响的清洁工。调整关键的等离子体特性，pp底材附着力增进剂通过调整等离子体内部和晶圆表面发生的化学和物理反应过程来优化蚀刻结果。等离子洁净作用与密度和电子
