等离子应用包括除尘、灰化/光刻胶/聚合物剥离、腐蚀腐蚀、晶片凸块和有机污染。染料去除和晶圆释放。等离子系统非常适合晶圆加工前的常见后端封装步骤，聚合物表面改性实例以及晶圆扇出、晶圆级封装、3D 封装、倒装芯片和传统封装。腔体设计和控制结构以低开销提供低等离子循环时间，确保生产过程吞吐量并降低成本。等
