经过碱或无机碱浸泡并在一定温度下退火后，羰基为什么亲水性低呢表面的Si-OH键脱水聚合形成硅氧键，增加了晶圆表面的亲水性，更有利于晶圆键合。对于材料的直接键合，亲水性晶圆表面在自发键合方面比疏水性晶圆表面更有优势。。等离子体表面处理技术是一种稳定、高效的工艺。由于等离子体的高能量，可以分解材料表层的
