低温等离子是放电气体的整体温度等于或稍高于室温的一种等离子体状态。采用的放电电源有高频、射频、微波、脉冲等；放电形式有辉光、丝状和自组织斑图放电等；放电气压范围从10-2pa到几个大气压；电极结构有针板，板板，孔板和线状等多种形式和范围。低温等离子体放电过程中会产生电子、离子、原子自由基、紫外线、高
