有许多要素支配着等离子体清洗的效用，清远大气等离子表面活化改性处理这些要素包括化学性质的挑选、制程参数、功率、时刻、零件放置及电极结构。不同的清洗用途所需要的设备结构、电极接法、反响气体品种是不同的，其工艺原理也有很大差异，有的是物理反响，有的是化学反响，有的是物理化学两种作用都发作，反响的有用性取
