典型应用是燃料容器的保护层、耐刮擦表面以及形成 PTFE 等材料。涂料、防水涂料等涂层很薄，原位等离子蚀刻晶圆温度测量系统通常只有几微米，此时表面亲和力非常好。这就是等离子蚀刻机的工作原理。等离子蚀刻机不仅具有精密功能，还具有精密清洗功能和蚀刻功能。。等离子蚀刻机可以提供外观清洗、外观活化、外观蚀刻
