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1958年,电路板等离子蚀刻美国政府设立晶体管电路小型化基金,以满足美国为追赶前苏联而发射的人造卫星DI的需要。当时德克萨斯公司的基尔比承担了这项任务,试图使一个晶体管、电阻和电容器封装在一起的小型化电路。1958年9月,基尔比在世界上制造了一个集成电路DI振荡器,记录在他的当天笔记中。基尔比发明的

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等离子体表面处理(点击查看详情)放电形成的等离子体包括电子、正离子、亚稳分子和原子等,二氧化硅等离子蚀刻当等离子体与被清洗物体表面接触时,一方面利用等离子体表面处理或等离子体活化的化学活性物质与材料表面的污物进行化学反应,例如,等离子体表面处理中的活性氧与材料表面有机物反应,氧等离子体与材料表面有机