在等离子硅片清洗机的常压流动等离子反应器中，等离子火焰机原理图影响等离子能量密度的主要因素是原料气体的流量F和等离子注入的输出量P。原料气体的流速是影响反应体系中活性粒子密度和碰撞概率的主要因素之一，而这两者的动态协同效应就是能量密度Ed（kJ/mol）。在Ed=P/F(1-20)方程中，Ed为能量
