然后调整适当的功率。当气体量一定时，等离子清洗机设备结构图功率高，等离子体中活性粒子的密度高，脱胶率高。但是，当功率增加到一定值时，反应可以消耗的活性离子完全达到，无论功率多大，但脱胶率并没有明显增加。因功率大，板温高，需按技术要求安排功率。 3、调整适当的真空度：适当的真空度可以增加电子运动的平均
