等离子清洗在清洗过程中通过射频电源电离真空腔内气体产生等离子体，等离子体具有高能量可以通过物理作用轰击金属表面使金属表面的污染物从金属表面脱落，其次电离某种气体可以产生对应的活性粒子，活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果
