1.等离子清洗渗透能力测试：用于清洗刚性柔性板的气体主要是 CF4 和 O2 气体。稳态气体形态 等离子在电极板交流电压的作用下产生，等离子清洗仪公司开始与孔壁内的物质发生相互作用，发生化学反应，等离子气体从孔外被带到孔内由于与金属的接触时间长，清洗蚀刻量大，等离子清洗后孔中心的清洗量小，孔清洁。在
