资料显示，等离子气相沉积原理在讨论等离子清洗的效率时，不同公司的不同产品在键合前选择等离子清洗，虽然增加了键合引线抗拉强度的波动，但对于提高设备的可靠性有很大优势。？用Ar等离子体将样品置于电极板上。当射频功率为200W～600W，气压为100Mt～120Mt或140Mt～180Mt时，清洗10mi
