如果去污力大于附着力，等离子化学气相沉积仪 不归属于半导体后工程设备对吗或者单位面积去污力大于单位面积附着力，则吸附在基材表面的污染物颗粒克服结合力而脱落。烘烤基材表面防止等离子弧时，界面温度应低于基材的熔点温度，去污力应大于污染物与基材表面的附着力。如今，随着等离子清洗工艺的出现，它被广泛应用于光
