正是因为圆片清洗是半导体制作工艺中较重要、较频频的工步，等离子刻蚀机的称呼而且其工艺质量将直接影响到器材的成品率、功能和可靠性，所以国内外各大公司、研究机构等对清洗工艺的研究一直在不断地进行。等离子体清洗作为一种先进的干式清洗技能，具有绿色环保等特点，跟着微电子行业的迅速发展，等离子清洗机也在半导体
