图 5 VDC 配置2.1.2 等离子体参数2.1.2.1 气体和流量电负性气体是主要因素。保持其他工艺参数不变，等离子光谱仪 icp气体VDC的电负性特性如下：解决了。 O2和N2等电负性具有高的负偏压VDC，而含有F、Cl和Br的气体具有高电负性，因为VII族元素很容易吸附自由电子。含有因子 F
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