这些电原子之间的波长和能量会影响等离子体。与工件表面的相互作用被再生。一个重要的角色。 1、低温等离子清洗中，等离子体与可控核聚变专业原子团等自由基与工件表面发生反应。等离子体中的自由基具有很强的电特性，存在时间比等离子体长。在等离子体中，自由基具有很强的挥发性，其作用主要是激活化学反应过程中的能量
