可根据清洗剂选择氧气、氢气、氩气或氮气。 (3)通过在真空电极与接地装置之间施加高频电压，等离子体电推进器使气体分解，通过光放电产生离子，形成等离子体。真空形成的等离子体完全覆盖处理过的工件并逐渐启动清洁操作。清洁通常持续几十秒到几分钟。 (4)等离子表面处理装置清洗后，切断高频电压，排出气体和气化
