2008年底，等离子体发电机的能量转化中芯国际（国际）获得IBM的45纳米（米）量产加工许可，成为中国第一家向45纳米迈进的半导体企业。此外，在2008年前后的两个阶段，市场占有率较高的等离子发生器的趋势与半导体行业的销售趋势一致，反映出清洗设备的需求稳定，单晶圆清洗设备是在市场上占据主导地位后，这
